能譜儀探針在真空室里，而MVE液氮罐在外面，那么液氮是怎么保護能譜儀探針的呢？

 其實道理很簡單：場效應管和晶體是通過金屬導體與液氮相連進行冷卻，液氮不會與之直接接觸。就像熱管式的CPU散熱器，風扇不是直接對著CPU吹，而是通過熱管把熱量導出到散熱片上再被風扇吹走。

EDS介紹：  

能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。

各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

探頭：一般為Si(Li)鋰硅半導體探頭
使用范圍

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析；

2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定；

3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測；

4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域；

5、進行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。